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能量色散X射线荧光光谱仪由X射线光管、样品室、准直器、探测器及技术电路和计算机组成。此外，亦可在样品前加一单色器，达到降低背景的目的，以改善色散X射线荧光光谱仪的检出限。它与波长色散X射线荧光光谱仪的显著不同是分光晶体，而是直接用能量探测器来分辨特征谱线，达到定性和定量分析的目的。
ROHS检测仪就是X射线荧光光谱仪，其分析原理也就是X射线荧光光谱仪的分析原理。X射线荧光光谱仪通常可分为两大类，波长色散X射线荧光光谱仪(WDXRF)和能量色散X射线荧光光谱仪(EDXRF)，波长色散光谱仪主要部件包括激发源、分光晶体和测角仪、探测器等，而能量色散光谱仪则只需激发源和探测器和相关电子与控制部件，相对简单。相对应的X射线荧光光谱仪有：手持式ROHS分析仪斯派克台式小焦点X射线荧光光谱仪
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